檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "蘇裕軒".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="微流道"
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由於微流道受到粗糙度的影響必定會對質量流率產生錯估,因此我們利用在微流道內建構不同高度的方形陣列結構來模擬表面粗糙度及障礙物。本實驗使用微機電製程技術在矽晶圓上製造出微流道、以氦氣為實驗氣體並在等溫…
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本研究以氧化矽為蝕刻遮罩,以DRIE在矽晶圓上製作內含人造孔穴之微流道,進行甲醇/水混合系統的流沸騰實驗,探討莫耳分率、流道寬度為100 m與150 m及人造孔穴對流沸騰型態的影響及單相流與二相…